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    首頁 工程案例 測試車間

    測試車間

    2022-04-26
    共有2183家企業看過

    半導體領域潔凈車間測試解決方案

           潔凈室(Cleanroom):空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應盡可能的減少室內滯留顆粒物。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力、靜電、振動、噪聲等按要求進行控制?!訥B50073-2013《潔凈廠房設計規范》實施日期2013年9月1日。

           為什么需要潔凈室:由于半導體工業所制作的集成電路元件尺寸越來越小,在一塊小小的芯片上,整合了許許多多的元器件,因此在制造的過程中就必須防止外界雜質污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機物等),因為這些污染源可以造成元器件性能的劣化及產品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環境中進行,以盡量將污染源和硅片隔離。

    對潔凈室影響的主要因素
           溫度:23±1℃
           濕度:45±3%rh
           噪聲:煩惱效應,語言通訊干擾,影響工作效率,低頻噪聲影響設備
           壓力:正壓與負壓是相對而言,一個潔凈室對大氣而言是正壓潔凈室,但對另外一個房間而言可能是負壓潔凈室。不同等級的潔凈室以及潔凈區與非潔凈區之間的壓差不小于5Pa,潔凈區與室外的壓差不小于10Pa.
           靜電:地面的面層應具有導電性能,并應保持長時間性能穩定,采用靜電耗散性材料,表面電阻率1?105Ω- 1?1012Ω,地面應設有導電泄放措施和接地構造,流動液體,氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施。
           振動:精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產工藝和設備制造部門提供。振動尤其對光刻設備影響巨大。
           ISO14644-1
           生產區:1000級
           黃光區:100級
           Mask光罩區:10級
    如何控制顆粒物(Particle)

           通常通過服裝,MAU,FFU及入口的風淋室等控制手段,可有效控制顆粒物的產生

    1、AMC控制

           通常AMC系統包括,AMC過濾系統及AMC氣體品質監控系統兩部分組成,分別起到過濾和確認效果的作用

    2、照度測試

           潔凈室(區)照度的檢測應在室內溫度穩定和光源光輸出穩定的狀態后進行;對新熒光燈區應使用100h以上,并在點燃15min后進行測試。
    照度測試點應選擇在工作面高度進行,一般宜為0.85m,通道測試高度宜為0.2m;測試點數量可按每50㎡潔凈室(區)面積一個點計算,但每個房間不得少于1點。
    3、靜電控制

           實時空氣品質監測系統對半導體業界而言,并不陌生?,F行模式大都以定點式監測器為主流,分布的范圍以正壓供氣端如氣瓶柜、氣體分流配置箱,以及特殊毒性氣體機臺通風櫥柜等。

           除此之外,廠內空氣流向同樣是監測器布點與泄漏搜尋時,相當重要的參考依據。比方說,外氣入口在空調層的潔凈室,其空氣流向通常如下圖所示,subfab區域受潔凈室作業影響最大,空調層受外氣影響較大。因此,在進氣口位置與subfab區域架設氣體監測器,可有效厘清潔凈室內空氣污染與外氣之間的關連性。再者,對于Fab與subfab間有回風區夾層的工廠,直接在制程區下方架設之氣體監測器,可立即反應制程區作業所造成的污染。而對于無回風區夾層的潔凈室,架設在Subfab區兩側之氣體監測器,可分區監測不同回風流場所代表的空氣品質狀況。因此,依據工廠的空調流場設計、監測目標,選擇適用之監測位置與氣體監測工具。

    4、因文章篇幅原因不做更多詳細闡述,如您需要了解更多,請聯系合潔科技潔凈工程公司






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