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    首頁 工程案例 半導體凈化車間

    半導體凈化車間

    2022-04-26
    共有3861家企業看過

          半導體器件、晶圓廠潔凈車間建設方案簡要:

          半導體器件晶圓的生產過程中,易受外來物、灰塵粒子、金屬離子等外來物的影響而破壞表面結構,這種產品特性也決定了其制造過程中必須有潔凈度的要求。同時,在半導體晶圓的測試過程中,測試間也必須置于潔凈室中,潔凈度的控制也同樣重要,潔凈車間的潔凈度控制不好,會導致空氣中的含塵量過高,從而導致外來物的增加,進而影響到測試的準確度、穩定性,嚴重還會導致探針測試卡的損壞。

          潔凈車間最主要的作用就在其能控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產。在晶圓車間中,為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結果不穩定,探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題,潔凈室及輔助室的設計就該是廠區建設的首要任務之一,且嚴格按照行業標準規范進行《硅集成電路芯片工廠設計規范》、《建筑設計防火規范》、《電子工業潔凈廠房設計規范》、《潔凈廠房設計規范》等規范。

          晶圓車間對生產環境的溫度、濕度、潔凈度、防微振等均有著嚴格的控制要求,且各種配套系統繁多復雜。合潔科技凈化工程公司的設計師常規也會采用FAB布局設計,比如從Fab建筑布局的豎向布置、平面布置、底層柱網的確定、SB支持區的布置、新風機房的布置、建筑消防、火災危險性分類的確定、防火分區設計、防泄爆設計、專用消防口的設置等等。
           大多數FAB工廠都是四層結構,從上至下分別為:上技術夾層,潔凈生產層,潔凈下技術夾層和非潔凈下技術夾層。

          詳細設計要點請聯系合潔科技半導體車間建設工程師

          潔凈車間工程示例如下:










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