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    半導體潔凈車間生產環境要求

    2022-04-19
    共有1149家企業看過

    目前國內在半導體潔凈車間的技術已達到納米級,但凡空間中存在著細小灰塵污染,將嚴重影響產品質量,甚至會出現廢品的情況,因此在半導體潔凈車間必須按高標準的條件要求進行配置,從EPC工程(總承包)的角度,具體分析半導體潔凈車間在生產環境中的要求。


    半導體潔凈車間在潔凈度等級要求較高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控,一般環境參數設置如下:

    1、該潔凈車間內的噪聲級不大于65dB(A)。

    2、垂直流潔凈車間滿布比不小于60%,水平單向流潔凈車間不小于40%,以防止局部單向流。

    3、潔凈車間與室外的靜壓差不小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不小于5Pa。

    4、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

    5、保證供給潔凈車間潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

    6、凈化空調系統加熱器設置新風,超溫斷電保護。


    對靜電要求極其嚴格,對濕度的要求更高,因為過于干燥的廠房內極易產生靜電,造成CMOS集成損壞,因此電子廠房的溫度應控制在22℃左右。相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄的范圍內,例如光刻區或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小,而在其他地方則放松到±5%的范圍內。細菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖,一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長,所以濕度控制在處于40%至60%的范圍之間時,可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適。


    半導體潔凈車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求,相比其他工業潔凈車間,無論是生產集成電路器件、分立器件、光電半導體、邏輯IC、模擬IC、儲存器......都有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。


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